EUV Maskesi Hangi Malzemeden Üretilmiştir?

EUV'nin maskesi yansıtıcıdır, ancak bizim ortak maskemiz geçirgendir, bu neden oluyor?

EUV maskesi neden yansıtıcıdır?

EUV ışığının dalga boyu 13,5 nm'dir ve bu son derece kısa dalga boyu herhangi bir malzemeden geçerken güçlü bir şekilde emilir, bu da EUV ışığını etkili bir şekilde iletmek için uygun bir şeffaf malzeme olmamasına neden olur ve geleneksel iletim maskelerini EUV litografisinde uygulanamaz hale getirir. EUV maskesinin yapısı

Yukarıdaki şekilde gösterildiği gibi, EUV maskesi EUV ışığını yansıtmak için Bragg yansıma ilkesini kullanan çok katmanlı bir film yapısını benimser. Yaklaşık %70'e kadar bir yansıtma elde edebilir, bu da litografinin doğruluğunu ve verimliliğini artırır.
Yansıma önleyici kaplama (ARC) (Anti-Reflective Coating): Reticle yüzeyindeki yansımayı azaltır ve ışık emiliminin verimliliğini artırır. Absorber: Yansıtılmamış EUV ışığını emen litografi deseninin gerçek kambiyum tabakası. Genellikle, emici tabaka malzemeleri Ta, TaN, TaBN vb.'dir. Ru capping: Çok katmanlı membran yapısını oksidasyona ve hasara karşı korur.

Mo/Si Çok Katmanlı Ayna (Molibden/Silikon Çok Katmanlı Ayna): 13,5 nm dalga boyunda EUV'nin maksimum yansıması için 40 ila 50 adet alternatif silikon ve molibden katmanı Bragg yansıtıcı katman olarak LTEM alt tabakasının üzerine biriktirilir.
Düşük termal genleşme malzemesi (LTEM)(Düşük termal genleşme malzemesi): Ani sıcaklık değişimlerinde yüksek termal kararlılığa ve minimum boyut değişimine sahip maske altlık malzemesi.

İletken arka kaplama (İletken Arka Kaplama): Genellikle statik birikimi azaltmak ve elektrostatik tutunmayı kolaylaştırmak için krom nitrürden oluşur.