【Yarıiletken dağlama işlemi】 Yarı iletkenlerin ruhu, dağlama işlemini ve mühendislerin 0 ila 1 ch1-ch2 arasındaki kusurlu oran problemleri üzerine uygulanmasını öğretir)

İçerik

CH1. Transister/CMOS dikey yapısı

CH2. Dağlama işleminin tanımı ve terimi

CH3. Aşı işleminin amacı ve plazma kavramı

CH4. Plazma üretimi ve özellikleri

CH5. Tipler ve Plazma Uygulamaları, Dryetch prensibi

CH6 kuru dağlama yöntemlerinin anlayışı ve gereksinimleri

CH7. Kuru dağlama ekipmanının yapısı

CH8.DRY aşınma işlemi

CH9.WET aşındırma işlemi

CH10. Driving kusur vakaları ve dağlama mühendisi uygulaması

 

CH1.Transister/CMOS dikeyYapı

Bir MOS transistörünün bileşenleri dört terminalden oluşur: kapı, kaynak, drenaj ve si_sub.

P-Sub=p-tipi (delik) düşük konsantrasyon katkılı silikon substrat

Q-N+ / P +=Yüksek konsantre katkılı elektronlar veya delikler

N-/p -=düşük konsantrasyon doping

STI=PMOS ve NMOS Ayrılma Bölgesi

PMD veya ILD 1=yalıtım tabakası Metal1 / yalıtım katmanından önce kapı katmanı ile metal1 katmanı

IMD=Metal1 ve Metal2 arasında yalıtım

Herhangi bir safsızlık doping olmadan usg=yalıtım

ARC (Anti Yansıma Kaplaması)=Yansıtma Anti-Yansıtma Kaplama-Sion kullanılarak pozlama sırasında PR grafiğine zarar vermeyi önlemek için yansıma baskısı

W-CVD=Tungsten (W) 'nin CVD tarafından birikimi

Tin-CVD=Titanyum Nitrürün (TIN) CVD tarafından birikimi

CH2. Dağlama işleminin tanımı ve terminolojisi

Drings işlemi: Tanım=PR geliştirme sürecinden sonra sürecin amacına göre fotorezist altında yetiştirilen veya biriktirilen ince filmlerin lokal çıkarılması işlemi.

Etch ile ilgili terimler

Eşleme SKEW=WB (Litografi Boyutu=Adi CD)- WA (kazınmış boyutlar=ACI CD)

Maske CD'si ile Tasarım Zamanında ADI CD arasındaki farka önyargı denir

ADI CD=Geliştirme Muayenesi CD'inden sonra

ACI CD=Temiz muayene CD'inden sonra

: Litografi tarafından oluşturulan grafikler dağlama işleminden geçtikten sonra değişir → Grafikler tasarlarken bu dikkate alınmalıdır!

Aşınma ve alt kesim

Aşırı Dalch=gravürü abartılır ve istenen kalınlığı veya derinliği aşar → kusurlar

Undercut=Islak aşındırmada kaçınılmaz bir fenomen, aşındırma alanının açık alandan daha büyük olmasıdır.

Aşındırma hızı (ER): Aşınma süresi boyunca çıkarılacak hedef malzemenin kalınlığı.

Seçicilik (ler) - Önemli bir parametre: farklı malzemeler arasındaki aşındırma oranındaki farkın oranı veya PR ve malzeme arasındaki aşındırma oranının oranı

Aşındırma Tekdüzeliği - Etch Mühendisleri için son derece önemli: Tüm yüzey eşit olarak kazınmalıdır! Gazetenler içinde ve sonrası dağlama öncesi ve sonra kalınlığı ölçmek için gofret içinde ve arasında yaklaşık 9 puan seçilir → İşlem tekrarlanabilirliği standart sapma ile değerlendirilir

En boy oranı=yükseklik (h) / genişlik (w) → büyük değer derinliği gösterir ve küçük değer genişliği gösterir.

• Adım kapsamı

• Yan Kapsam=S1/T, S2/T

• Alt Kapsam=TD/T

•=>"1" e yakın değer idealdir.

Yükleme efekti

Mikro Yükleme Etkisi

= İnce desenler için, gravürden sonra reaksiyon ürünlerinin deşarjı pürüzsüz değildir, bu da geniş desenlerden daha iyi bir aşındırma etkisi ile sonuçlanır.

Desen çok iyi olduğunda veya aşındırma derin olduğunda ortaya çıkar.

=>Çözüm: Aşınma işlemi sırasında düşük basınç kullanın veya gaz akış hızını hızlandırın !!

Makro Yükleme Etkisi

= Büyük aşındırma alanı nedeniyle, etchant arzı yetersizdir, bu da geniş bir alanda zayıf aşındırma ve dağlama derinliğindeki farkla sonuçlanır.

=>Çözüm: Deseni yoğun bir şekilde şekillendirmek için geniş bir alana kukla bir desen yerleştirin.

EPD (uç nokta tespiti)

Tanım: İstenen film katmanının dağlama işleminde kaldırılıp kaldırılmadığını belirlemek için kullanılan bir yöntem.

Sınıflandırma: Girişim fenomenleri kullanılarak optik emisyon spektroskopisi (OE), radyo frekansı (RF) dalgalarının voltajının ve akımının izlenmesi.

Prensip: Her atomun kendine özgü emisyon dalga boyu vardır ve farklı renkler sunar. Farklı malzemeleri aşındırırken, plazmanın rengi değişir, optik sensörler bu değişikliği tespit etmek ve böylece dağlama işleminin bitiş noktasını belirlemek için kullanılır.

0040-79913 Katot astarı, sızıntı kontrol bağlantı noktası, 300mm