Polisilikon Tüp Püskürtme Hedeflerinden Kaynaklanan Portakal Kabuğunun Olası Nedenleri

0200-09315 HCanahtarı, ESC Kapak Halkası, Seramik

0200-00234 İZOLATÖR BKM1 GELİŞMİŞ TXZ 200MM

Süreç parametreleriyle ilgili sorunlar

1. Aşırı püskürtme gücü:

- Aşırı püskürtme gücü, hedef yüzeyde yüksek yerel sıcaklıklara yol açarak malzemenin eşit olmayan buharlaşmasına ve birikmesine neden olarak portakal kabuğu yüzeyinin oluşmasına neden olabilir.

- Püskürtme cihazının güç ayarlarını kontrol ederek hedef aralığın dışında olup olmadığını kontrol edebilirsiniz.

2. Püskürtme hava basıncı uygun değil

- Püskürtme havası basıncı çok düşükse, parçacıkların ortalama serbest yolu çok uzun olabilir, parçacık enerjisi çok yüksek olacak ve hedefin yüzeyine çarptığında büyük bir darbe kuvveti oluşacaktır. hedefin yüzey morfolojisi değişecektir.

- Hava basıncı çok yüksekse, püskürtülen parçacıklar alt tabakaya ulaşmadan önce çok fazla çarpışabilir, parçacıkların enerjisini ve yönünü azaltabilir ve ayrıca hedefin yüzeyinde eşit olmayan birikmeye yol açabilir.

- Hedefin özelliklerine ve proses gereksinimlerine göre uygun püskürtme basıncını ayarlamanız gerekir.

 

Kalite sorunlarını hedefleyin

1. Hedefin saflığı yetersiz:

- Kirliliklerin varlığı, hedefin püskürtme performansını ve yüzey kalitesini etkileyebilir. Püskürtme sırasında yabancı maddeler tercihen püskürtülebilir veya hedefle reaksiyona girebilir, bu da hedefte düzgün olmayan yüzey olgusuna neden olabilir.

- Hedefin saflık sertifikasını kontrol edebilir veya hedef üzerinde kompozisyon analizi yaparak herhangi bir yabancı madde olup olmadığını tespit edebilirsiniz.

2. Hedefin iç yapısı dengesiz:

- Hedefin imalat işlemi sırasında içerisinde gözeneklilik, çatlak veya başka kusurlar varsa püskürtme işlemi sırasında yavaş yavaş ortaya çıkabilir ve bu durum yüzey kalitesini etkileyebilir.

- Hedefin iç yapısının homojen olup olmadığını kontrol etmek için metalografik analiz veya diğer muayene yöntemlerini gerçekleştirebilirsiniz.

Ekipman sorunları

Manyetik alan düzgün değil

- Püskürtme ekipmanındaki manyetik alan, püskürtme işleminde önemli bir rol oynar. Manyetik alan düzgün değilse, püskürtülen parçacıklar eşit olmayan bir şekilde dağılacak ve hedefin yüzeyinde portakal kabuğu oluşmasına neden olacaktır.

- Manyetik alanın eşit şekilde dağıldığından emin olmak için manyetik alan bobininin konumunu ve akım gücünü kontrol edebilirsiniz.

2. Alt tabaka sıcaklığı çok yüksek:

- Alt tabaka sıcaklıklarının çok yüksek olması, alt tabaka üzerinde biriken film tabakasının kalitesinin düşmesine neden olabilir ve ayrıca hedef yüzeydeki püskürtme işlemini de etkileyebilir. Substrat sıcaklığı çok yüksekse, substrat üzerindeki püskürtülen parçacıkların difüzyon hızı hızlanacak ve bu da hedef yüzey üzerinde eşit olmayan birikmeye yol açabilecektir.