Edge Die nedir?

Kenar kalıbı, levha üretim süreci sırasında maske hizalama hataları veya levha dilimleme nedeniyle tasarım kusurlarına veya eksik boyutlara sahip olabilen, levhanın kenarında bulunan talaşları ifade eder. İşte kenar çipinin ayrıntılı bir açıklaması:

1. Kenar Kalıbının Nedeni

Plaka üretim prosesinde, daha yüksek hizalama doğruluğu ve daha stabil proses koşulları nedeniyle litografi, biriktirme, aşındırma gibi proseslerin rolü genellikle levhanın merkezinde yoğunlaşır. Plakanın kenar alanı, optik kırınım etkisinden, mekanik stresten, sıcaklıktan ve diğer faktörlerden büyük ölçüde etkilenen, kenar kısmında zayıf talaş kalitesine neden olan proses ekipmanının hizalama referansından uzaktadır. Özellikle gofret dilimlemede, gofretin eşit olmayan mekanik kuvvetinden dolayı kenar kısmı kusurlu veya eksik doğranmış talaş oluşumuna yatkındır.

0040-79914 DGDP

2. Kenarın özellikleriölmek

Eksik boyutlar: Kesim işlemi sırasında Edge kalıplarının tasarım gereksinimlerini tam olarak karşılayamaması nedeniyle boyutlar düzensiz, hatta eksik olabilir. Bu, kenar bölgesindeki talaşların üretim sırasında daha düşük verime sahip olduğu anlamına gelir. Artan kusurlar: Litografi ve dağlamanın düşük hizalama doğruluğu nedeniyle, Kenar kalıpları çipin işlevini etkileyen bazı küçük kusurlara veya arızalara eğilimlidir.

Atık ve kayıp: Kenar kalıpları, düşük kalite ve performansa sahip oldukları ve standart gereklilikleri karşılamadıkları için genellikle atık alanlar olarak kabul edilir. Bu talaşların varlığı, gofret işleme prosesinde belli miktarda atık olduğu anlamına gelir.

0010-35756 CVD Bekleme Odası Komplesi

3. Kenarın etkisiölmekgofret kullanımı hakkında

Gofretlere yönelik kenar kalıpları, imalat ve dilimlemedeki fiziksel kısıtlamalar nedeniyle esas olarak boşa harcanan alandır. Yarı iletken endüstrisi, levha kullanımının verimliliğini artırmak amacıyla, Kenar kalıplarının kapladığı alanı azaltmak için sürekli olarak daha büyük çaplı levhaların (300 mm levhalar gibi) kullanılması için baskı yapıyor. Bunun nedeni, büyük çaplı levhaların daha fazla aktif alan sağlaması ve kenarlarda kullanılamayan daha az atık sağlamasıdır.

4. Kenarın etkisi nasıl azaltılırölmek

Proses doğruluğunu artırın: Litografi, gravür ve diğer proseslerin doğruluğunu iyileştirerek kenar alanlarındaki talaş kusurlarını azaltın. Bu, verimi artırmanın ve Kenar kalıplarının sayısını azaltmanın temel bir yoludur. Optimize edilmiş dilimleme yöntemi: Daha ince dilimleme teknolojisi, dilimleme sırasında kenar parçalarının kaybını en aza indirmek için kullanılır. Arttırılmış levha boyutu: Yonga levhanın boyutunun arttırılması (örneğin, daha büyük 300 mm veya 450 mm levhaların kullanılması), Kenar kalıplarının alan oranını azaltabilir, bu da birim alan başına talaş sayısını artırır.

5. Analoji ve metafor

Bir gofret, cipslerin küçük parçalara bölündüğü büyük bir pastaya benzetilebilir. Ve Kenar kalıpları, bir pastanın kenarındaki bazı kırıntılar gibidir, başlangıçta pastanın bir parçası olmalarına rağmen, bu kırıntılar, kusurlu kenar kesimi nedeniyle genellikle yenmez. Bu kırıntıları azaltmak için üreticiler kesme aletlerini geliştirmeye çalışıyor veya daha büyük kekleri tercih ediyor; bu da bazı köşeler boşa gitse bile orta alanda daha kaliteli bir kek elde edilmesini sağlıyor.

Özet

Kenar kalıpları, gofret üretiminde esas olarak fotolitografi, dilimleme ve diğer işlemlerden kaynaklanan kaçınılmaz bir üründür. Kenar kalıpları standartları karşılamasa ve nitelikli ürün olarak kullanılamasa da, proses doğruluğunun iyileştirilmesi, dilimleme teknolojisinin optimize edilmesi ve daha büyük çaplı levhaların kullanılmasıyla, Kenar kalıplarının alan israfı etkili bir şekilde azaltılabilir ve genel levha kullanım oranı ve verimi elde edilebilir. geliştirilebilir.