PECVD'nin Duş başlığı ne işe yarar?

0020-30797 Delikli Plakalı Duş Başlığı

0021-35869 DUŞ BAŞLIĞI

 

PECVD sürecinde Duş başlığı ne işe yarar??

Yukarıdaki şekilde gösterildiği gibi, yağmurlama başlığı, duş başlığı vb. olarak da tercüme edilen Duş Başlığı, genellikle reaksiyon bölgesinin üst kısmına sıkı bir şekilde oturur ve bir gaz girişi görevi görerek reaksiyon gazını küçük deliklerden odaya eşit şekilde enjekte eder. yüzeyinde. Tabii ki, bu sadece gaz dağıtım işlevi değildir, bazıları elektrotun bir parçası olarak kullanılmak üzere tasarlanmıştır.
İşlevi Duş başlığı mı?

Duş başlığının yüzeyi yoğun gözeneklerle kaplıdır ve reaksiyon gazı içeri aktıktan sonra eşit olarak birkaç parçaya bölünür ve tutarlı bir akış hızında levhanın tepesine aktarılır, böylece reaksiyon gazı tüm yüzeyi eşit şekilde kaplar. Daha düzgün bir kaplama üretmek için gofret yüzeyi. Duş Başlığı elektrotun bir parçası olduğunda, RF güç kaynağı yüzeyinde homojen bir plazma oluşturabilen düzgün bir elektrik alanı oluşturur.

Duş başlığı yapmak için genellikle hangi metal kullanılır?

En yaygın olanı, yüksek ısı iletkenliğine ve korozyona karşı dirence sahip olan alüminyumdur. Duş başlığı yapımında kuvars veya seramik de kullanılabilir.