Talaş Üretim Sürecinde Aşındırma Çeşitleri

TürleriEiçinde karıncalanmaCbelkiMimalatPsüreç

Bu makale, talaş üretim sürecindeki iki aşındırma yöntemini kısaca tanıtmaktadır; aşındırma (Etch), talaş üretim sürecinde oldukça önemli bir adımdır.

Aşındırma esas olarak kuru aşındırma ve ıslak aşındırma olarak ikiye ayrılır.

①Kuru gravür

İstenmeyen maddeleri uzaklaştırmak için plazma kullanılır.

②Islak gravür

İstenmeyen malzemeleri uzaklaştırmak için aşındırıcı sıvılar kullanılır.

1 Kuru gravür

Kuru aşındırma yöntemi:

①Püskürtme ve iyon ışınlı frezeleme

②Plazma Dağlama

③Yüksek basınçlı plazma aşındırma

④Yüksek yoğunluklu plazma (HDP) aşındırma

⑤Reaktif İyon Dağlama (RIE)

Kimyasal aşındırmada olduğu gibi, yalnızca istenen bileşime sahip malzemeleri aşındırarak son derece seçicidir; Oldukça anizotropiktir ve maske açıklığından başlayarak tek bir yönde kazınmıştır. Bunu sağlayan mekanizma, kimyasalların yüzeylerle reaksiyonunu aktive etmek için yüksek enerjili parçacıkların kullanılmasına dayanmaktadır. Şekilde görüldüğü gibi plazmada iyonlar üretilir ve yüzeye doğru hızlanarak açıklıkları maskeler. Plazma aynı zamanda elektrik alanı tarafından hızlandırılmayan ve dolayısıyla tercih edilmeyen bir yönde yüzeye ulaşan oldukça reaktif nötr maddeler de üretir. Hem iyonlar hem de nötrler mevcut olduğunda, yani yüzeyin yatay kısmında (örneğin, kazınmış bir çukurun dibinde), oldukça seçici bir reaksiyon etkinleştirilir ve hedef malzeme çıkarılır.

Aşağıdaki gibi asitli astarlarımız var:

0040-79913 Katot Astarı,Sızıntı Kontrol Bağlantı Noktası ile,300mm

0040-79912 Astar Haznesi Sızıntı Kontrol Bağlantı Noktası,300mm Emax

0040-34866 Astar Katot Mag Halkası

2 Islak gravür

Islak dağlamanın yarı iletken işlemlerde geniş bir uygulama alanı vardır: parlatma, temizleme, korozyon. Islak dağlama, sıvı bir dağlayıcı kullanılarak malzemenin bir levhadan seçici olarak çıkarılmasını içeren kimyasal bir işlemdir. Bu asitler tipik olarak asitler, bazlar veya solventler gibi çeşitli kimyasallardan oluşur ve malzeme ile reaksiyona girerek kolayca yıkanabilen çözünebilir ürünler oluşturur. Aşındırma işlemi, malzeme-etchant arayüzündeki kimyasal bir reaksiyonla gerçekleştirilir ve aşındırma hızı, reaksiyon kinetiği ve çözeltideki aktif türlerin konsantrasyonu tarafından belirlenir.

Avantajları şunlardır: iyi seçicilik, iyi tekrarlanabilirlik, yüksek üretim verimliliği, basit ekipman ve düşük maliyet

Dezavantajları şunlardır: küçük özellik boyutları için kullanılamaz; Büyük miktarda kimyasal atık oluşacaktır.