Süpercrital CO₂Cleaning Technology

Çip üretim süreci Nano dönemine girdikten sonra, görünüşte çelişkili bir sorun ortaya çıktı: kırılgan nanoyapıya zarar vermeden derin delikler ve siperlerde kalıntı nasıl tamamen çıkarılır? Geleneksel sulu ve plazma temizliği, sıvının yüzey gerilimi nedeniyle yüksek kaldırma-ila oranı yapılarına zarar verebilirken, benzersiz fiziksel özellikleri ile süperkritik karbondioksit (SCO₂) temizleme teknolojisi yarı iletken temizleme kurallarını yeniden yazıyor.

 

Süpercritik CO₂: Gaz ve sıvı arasındaki sınır kaybolduğunda

Karbondioksit kritik noktanın üzerinde olduğunda (sıcaklık 31.1 derece, basınç 7.38 MPa), ne gaz ne de sıvı olmayan süperkritik bir duruma girer. Bu noktada, yıkıcı özellikler sergiliyor:

Sıfır yüzey gerilimi: 100: 1'den fazla en boy oranıyla nanoporlara nüfuz edebilir;

Gaz Difüzyon: Sıvı çözücülerden 10 kat daha hızlı, 3 saniye içinde 1 mikron derin yapıya nüfuz eden;

Sıvı dereceli çözünürlük: Metal kalıntılarını ve organik kirleticileri çözmek için özel bir temizlik maddesi taşıyabilir. Bu durumda, "görünmez bir temizleyici" görevi görür ve cihazın yüzeyine dokunmadan derinden temizlenebilir.

0290-35673-03 dxz rps ile teos oda assy

Neden süperkritik co₂ temizleme?

Fiziğin sınırlarını zorlayan temizlik gücü

DRAM kapasitör temizliği: Modern DRAM, geleneksel ıslak temizleme sıvılarının yüzey gerilimi nedeniyle% 100 SCO₂ tarafından kapsanan 60: 1 en boy oranına (20 nm çap ve 1.2 μm derinlik) sahip bir silindirik kapasitör kullanır (Samsung, bu teknolojiyi 1 nm işlemde uyguladı);

3D NAND temizliği: 232- Katman NAND bellek deliği derinliği 8 μm'ye kadar ve sadece 40 nm (200: 1 en boy oranı).

Sıfır hasarla nazik bir süreç

Finfet yüzgeçlerine atom düzeyinde hasardan kaçınan yüksek frekanslı plazma bombardımanı yok;

Hiçbir nem kalıntısı bakır ara bağlantılarının galvanik korozyonu riskini ortadan kaldırmaz (10 nm çizgi genişliği).

Çevre Koruma ve Maliyet Avantajları

CO₂ geri dönüştürülebilir, izopropil alkol (IPA) temizliğine kıyasla işlem başına sarf malzemelerinin maliyetini% 70'e kadar azaltır;

Tehlikeli atık deşarjı yok, geleneksel temizlikten% 95 daha az kimyasal atık su.