Tek Kristal İnce Filmler Hangi Kaplama Yöntemleriyle Büyütülebilir?

CVD, PVD ve epitaksiyel ekipmanlar arasındaki fark nedir?

CVD, PVD ve epitaksiyel işlem kategorisi

CVD,PVD,?
CVD: LPCVD, APCVD, SACVD, PECVD, HDPCVD, FCVD, MOCVD, vb.
PVD: Elektron demeti buharlaştırma, magnetron püskürtme, PLD (darbeli lazer biriktirme), vb.

Epitaksiyel: Moleküler ışın epitaksi MBE, gaz fazı epitaksi VPE, sıvı faz epitaksi LPE, katı faz epitaksi SPE, vb.

Bunlardan CVD, PVD ve Epitaksi prensip olarak birbirine benzerdir ve bunları sınıflandırmanın birçok yolu vardır, yukarıdaki benim sınıflandırma yöntemimdir.

Film Oluşturma MekanizmasıCVD, PCVDVeEpitaksiyel mi?

Yukarıdaki şekilde görüldüğü gibi, yukarıdaki üç ince film biriktirme yönteminin yukarıdakiler olması şaşırtıcı değildir:

2D katman katman büyüme moduBu kaplama yönteminde, ince filmin büyümesi katman katman gerçekleştirilir ve atomların veya moleküllerin her katmanı, bir sonraki katman başlamadan önce gofretin yüzeyini tamamen kaplar. Bu büyüme modu, süper kafes yapıları gibi çok düz film yüzeyleriyle sonuçlanabilir.

3D ada büyümesi (Volmer-Weber)

Bu modda, filmin büyümesi artık katman katman değil, daha ziyade, kademeli olarak artan ve sonunda tüm gofreti kaplayan gofret yüzeyinin bazı yerel bölgelerinde kesikli adacıkların oluşumudur. Ortaya çıkan film ile alt tabaka arasındaki etkileşim kuvveti zayıftır ve filmin yüzey serbest enerjisi büyüktür.

Karma modlu büyüme Bu büyüme modunda

Film başlangıçta belirli bir süre boyunca katman katman büyüyecek ve belirli bir kalınlığa ulaştığında, stres birikimi nedeniyle ada benzeri bir yapı oluşturmaya başlayacaktır. Genel olarak konuşursak, tek kristal ince filmleri büyütebilen yöntemler arasında moleküler ışın epitaksisi MBE, gaz fazı epitaksisi VPE, sıvı fazı epitaksisi LPE, katı fazı epitaksisi SPE, MOCVD, PLD (darbeli lazer biriktirme) bulunur. 2D katman katman büyüme modu, monokristallerin oluşturulmasını kolaylaştırırken, CVD ve PVD, işlem koşullarını ayarlayarak polikristalin veya amorf kristaller üretmek için kullanılabilir.