Aşındırma Ekipmanlarının Ana Yapısı

 

Ana akım aşındırma ekipmanının yapısı iki bölüme ayrılabilir: ana gövde ve yardımcı ekipman. Bunlar arasında, aşındırma ekipmanının ana gövdesi EFEM (ekipmanın ön ucu), TM (iletim modülü), PM (işlem modülü) ve üç modülü içerir. EFEM modülü, esas olarak yarı iletken fabrikasındaki çeşitli taşıma ekipmanlarından (wafer yükleyiciler, taşıma robotları ve üstten vinçler dahil) gelen gofretleri aşındırma ekipmanına yüklemekten sorumludur; TM modülü esas olarak gofretlerin aşındırma ekipmanının içine aktarılmasından sorumludur; PM, gofreti gerçekten aşındıran ve ilgili fizikokimyasal reaksiyonların meydana geldiği modüldür. Yardımcı ekipmanın işlevi, yukarıdaki üç modül için garanti desteği sağlamaktır ve düzen, makinenin ana gövdesinden nispeten bağımsızdır.

Entegre devre üretiminde tek bir aşındırma ekipmanının üretim kapasitesine olan talebin artmasıyla, tek bir aşındırma makinesinin reaksiyon boşluklarının sayısı daha azdan daha fazlaya doğru bir eğilim göstermektedir. 1990'larda Tokyo Electron, tek bir platformda birden fazla reaktöre sahip Unity serisini, paralel oda yapısına sahip dünyanın ilk makinesi olan Telius'u ve 2010'larda 6/8 boşluklu Tactras'ı piyasaya sürdü. Tokyo Electron'un en son Episode serisi, 12 boşluğa kadar donatılabilir; bu da aşındırma ekipmanının alan verimliliğini büyük ölçüde artırır ve fabrikaların üretimi genişletmeleri için daha fazla alan bırakır.

Çoklu aşındırma reaktörlerine sahip aşındırma ekipmanı, fabrikaların üretim kapasitesini artırması için olmazsa olmazdır. Çünkü tek bir makinedeki oda sayısı ne kadar fazlaysa, tek bir oda için ortalama alan o kadar küçüktür. Fabrika arıtma tesisinin bakımı çok fazla maliyet gerektirir, tek bir ekipmanın kapladığı alanı azaltır, arıtma tesisinin birim alan başına gofret üretim kapasitesini etkili bir şekilde artırır ve tek bir gofrete tahsis edilen fabrikanın amortisman ve bakım maliyetlerini azaltır. Reaksiyon hızı daha yavaştır ve birim zaman başına gofret çıktısı, ultra çok boşluklu yapıyı benimsemeye daha meyilli olan gofretin (saat başına gofret) (dielektrik aşındırma ekipmanı) çıktısından daha düşüktür. Ancak, PM odalarının sayısındaki artış, EFEM ön uç modülünün ve TM taşıma modülünün yükleme ve taşıma sürecine yeni talepler getirir.