Aşındırma Ekipmanlarının Gaz Sistemi

Aşındırma adımı, reaksiyon sürecinde işlem ortamı olarak da bilinen çeşitli aşındırma gazlarının kullanımını gerektirir. Aşındırma ekipmanının gaz sistemi, işlem ortamının gaz kaynağından reaksiyon odasının içine taşınmasından sorumludur; reaksiyon odası esas olarak bir gaz kutusu (Gasbox), bir homojenleştirme plakası (Gaspanel), bir akış ölçer (MFC) ve bir boru hattından oluşur.

Gaz kutusunun işlevi, gaz kaynağından (özel gaz silindiri veya gofret fabrikasının gaz boru hattı) gelen gazlı işlem ortamının basıncını çeşitli kontrol vanaları aracılığıyla ayarlamak ve ardından onu aşındırma ekipmanının gaz yolu boru hattına sokmaktır. Entegre devrelerin üretiminde kullanılan gazların çoğu tehlikeli olduğundan, güvenliği sağlamak için gaz devre kutusunun kabini genellikle korozyon önleyici ile kaplanır ve harici bir gözlem penceresi kurulur ve iç kısım da negatif basınç durumundadır. Ek olarak, gaz kutusu, bir gaz kaçağı tespit edildiğinde gaz dağıtımını hemen kesen ve alarm veren çeşitli izleme sistemleri ile donatılmıştır. Gaspanel, gaz sisteminin temel bileşenlerinden biridir ve aynı zamanda işlenmesi zor olan bir yarı iletken metal parçadır. Homojenleştirme diski genellikle her biri çok sayıda küçük deliğe ve karmaşık ve küçük hava yollarına sahip dört kat metal diskten oluşur. Aşındırma gazı gaz yolu kutusu tarafından ayarlandıktan sonra boru hattına girer ve daha sonra homojenleştirme tepsisinden geçer ve son olarak reaksiyon odasına kararlı ve düzgün bir hızda taşınır. Homojenleştirme diskinin yüksek sıcaklık direnci, düşük partikül kirliliği ve korozyon direnci özelliklerine sahip olması gerekir ve dahili sızıntıyı önlemek için çok katmanlı metal diskler arasında kaynak yapmak için özel yöntemler kullanılması gerekir. Homojenleştirme diski, aşındırmanın çekirdek hava giriş adımıyla ilişkili olduğundan, bazı ekipman şirketleri homojenleştirme diskleri geliştirmek ve üretmek için hassas metal işleme işletmeleriyle işbirliği yapmayı tercih eder; Ayrıca, Japonya'daki Fujikin vanaları da önemli tekdüze disk üreticileridir.

Aşındırma ekipmanı, aşındırma gazlarının reaksiyon odasına girme hızını izlemek ve kontrol etmek için bir kütle akış ölçer (MFC) kullanır. Hava giriş hızı aşındırma reaksiyonunun kararlılığıyla ilişkili olduğundan, aşındırma ekipmanının kütle akış ölçerinin akış aralığı, kontrol doğruluğu ve akış kararlılığı tepki süresi için yüksek gereksinimleri vardır. Akış ölçerler analog devre tipi, dijital devre tipi ve basınç değişimi telafi tipi olarak ayrılabilir. Basınç değişimi telafi akış ölçeri, reaksiyon odasına gaz çıkışının kararlı akışını sağlamak için gaz kaynağı basıncının dalgalanmasını otomatik olarak telafi edebilir. Kütle akış ölçerlerinin ana üreticisi Japonya'daki Horiba'dır.