Darbeli bir güç kaynağı kullanarak kuru aşınmanın faydaları?

Darbe modunun sürekli dalga güç modu üzerindeki avantajları nelerdir? Darbeli ve sürekli dalga güç modları nelerdir?

Yukarıdaki şekilde gösterildiği gibi, birincisi CW, sürekli dalga. Sürekli dalga (CW), sabit güç ve yoğunluk ile zaman içinde sürekli ve sabit bir dalga formunu ifade eder. Tipik olarak dar bir spektrum ve kararlı bir çıkışa sahip tek frekanslı bir sinyal olarak görünür. CW'nin ortalama gücü tepe gücüne eşittir ve sinyal özellikleri basit ve kontrol edilmesi kolaydır. CW'nin ana avantajı, yüksek stabilitesidir, bu da sinyal sürekliliğinin kritik olduğu uygulamalar için idealdir. Aynı zamanda, CW sinyali, doğru ölçüm ve analizi kolaylaştıran düşük bir gürültü seviyesine sahiptir. Ek olarak, CW sistem tasarımı nispeten basittir ve güç ve frekans gibi kontrol parametreleri kolayca ayarlanabilir. CW modunda, güç çıkışı dalgalı darbeleri olmayan sürekli bir dalga formudur.

0040-31980 gaz kutusu EC WXZ

İkincisi PW, darbeli güç. Bir darbe dalgası, zaman içinde kesintiye uğrayan ve kısa bir süre boyunca yüksek yoğunluklu bir dizi sinyalden oluşan bir dalga formudur. Nabızlar sınırlıdır ve belirli bir süre sonra tekrarlanır. Nabız dalgası, anlık pik gücün özelliklerine ortalama güçten çok daha yüksek ve çıkış spektrumu geniştir ve daha fazla frekans bileşeni içerir. Nabız dalgasının en büyük avantajı, kısa bir süre içinde son derece yüksek enerji serbest bırakabilen anlık yüksek tepe gücüdür. Ek olarak, sinyalin aralıklı çıkışı nedeniyle, nabız dalgasının ortalama gücü düşüktür, bu da ekipmanın ısı yük basıncını etkili bir şekilde azaltır. Sonuç olarak, yüksek zamansal çözünürlük veya anlık yüksek güç gerektiren uygulamalar için idealdir. PW modunda, güç kaynağının çıkış gücü zamanın bir parçası ve zamanın bir parçası.

0040-09095 gaz kutusu, WCVD
Darbeli güç kaynaklarının özellikleri?
1, aralık çalışması ısıyı zamanında dağıtabilir, böylece reaktanların gofretin yüzeyine taşınması için zaman olabilir.

2, çıkış gücü büyük ölçüde artırılabilir, süre çok kısadır ve nabız gücü, frekans, zaman vb. Çok kesin olarak kontrol edilebilir.
Nabız modunu kullanmanın avantajları?
1, mikro yük efektlerini ortadan kaldırın. Derin delikler veya derin oluklar gibi yüksek en boy oranları ile yapısal aşındırmada. Daha küçük boyutlu delikler veya yuvalar, daha büyük boyutlu deliklerden veya yuvalardan daha küçük bir aşındırma hızına sahiptir. CW modu kullanılırsa, mikroload efekti basıncı azaltarak ve önyargı voltajını artırarak geliştirilebilir, ancak iyileştirme yeteneği sınırlıdır, ancak mikro yük efekti nabız modu kullanılarak büyük ölçüde geliştirilebilir.

2, gofret yüzey hasarını azaltır. Bir önyargı beslemesinde nabızlar kullanılırsa, plazmanın gofrete saldırması için geçen süre azaltılabilir, bu da yüzey hasarını azaltır.